最終更新:2012-12-05 (水) 05:25:15 (4154d)  

MEMS
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Micro Electro Mechanical System

機械要素部品?、センサ、アクチュエータ、電子回路を一つのシリコン基板?、ガラス基板?、有機材料?などの上に集積化したデバイス

市販されている代表的なデバイス

  • プリンタヘッド?: 特にインクジェットプリンタ?用
  • 圧力センサ?
  • 加速度センサ
  • ジャイロスコープ?
  • 光スキャナ?
  • AFM用カンチレバー?
  • 流路モジュール?
  • デジタルミラーデバイス?(DMD?)
  • HDDのヘッド?
  • DNAチップ?
  • 光スイッチ?
  • ボロメータ型赤外線撮像素子?
  • 波長可変レーザ?
  • 光変調器?



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