最終更新:2012-12-05 (水) 05:25:15 (4132d)
MEMS
Top / MEMS
Micro Electro Mechanical System
機械要素部品?、センサ、アクチュエータ、電子回路を一つのシリコン基板?、ガラス基板?、有機材料?などの上に集積化したデバイス
おなかすいた族!
Micro Electro Mechanical System
機械要素部品?、センサ、アクチュエータ、電子回路を一つのシリコン基板?、ガラス基板?、有機材料?などの上に集積化したデバイス